1. 다층화·미세화 기술로 여러 개의 집적 회로를 하나의 기판 위에 집적화함으로써 집적도를 높인 회로. 하나의 칩에 1,000~10만 개의 소자(素子)를 싣고 있다.
2. 고밀도 집적 회로를 더욱 소형화한 집적 회로. 가로와 세로가 각각 수 밀리미터인 실리콘 기판(基板) 위에 10만~100만 개의 트랜지스터, 저항기 따위가 집적되어 있다.
3. 하나의 칩 위에 100만 개 또는 그 이상의 소자를 집적한 집적 회로. 브이엘에스아이(VLSI)보다 집적도가 더 높다.
4. 하나의 칩 위에 100만 개 또는 그 이상의 소자를 집적한 집적 회로. 브이엘에스아이(VLSI)보다 집적도가 더 높다.
5. 반도체 메모리와 대비되는 개념의 논리 연산 기능이 있는 대규모 직접 회로.
6. 고밀도 집적 회로를 더욱 소형화한 집적 회로. 가로와 세로가 각각 수 밀리미터인 실리콘 기판(基板) 위에 10만~100만 개의 트랜지스터, 저항기 따위가 집적되어 있다.
7. 특정한 고객이 요구하는 것에 따라 설계, 제조, 판매를 하는 대규모 집적 회로.